隨著經濟社會的發展，工業企業快速增加，工業生產排放廢氣污染物種類較多，是造成大氣污染的主要污染源之一，常見的有粉塵顆粒與有害氣體兩種，工業廢氣治理期間需要結合不同廢氣污染物類型采取最佳處理措施。結合國內廢氣治理技術發展，常用的廢氣治理方法主要包含：吸收法、吸附法、生物法、催化燃燒法、光分解法。
1.1 吸附法
吸附法主要利用物理吸附方法進行工業廢氣治理，比如常見的硅膠與活性炭等具有較強吸附能力的物質吸附工業生產廢氣污染物，從而達到最佳的污染氣體凈化效果。這一方法不需要復雜的設備，管理起來較為方便，常用于不同工業廢氣凈化處理，也是目前國內工業廢氣處理中常用的一種技術。但由于這種方法成本較高，若不能及時對填料進行更換，會對凈化效果產生較大影響，進而導致二次污染。
1.2 吸收法
吸收法主要是利用化學方法凈化處理廢氣進行工業廢氣治理，使用特殊的化學藥物吸收工業廢氣污染物，接著再結合污染物質和吸收劑特性在吸收劑中將污染物分離出來，吸收法常用在氣體壓力與污染物濃度較高、溫度較低的環境下，由于處理完的吸收藥劑難以回收，所以導致這一方法難以大面積推廣使用。
1.3 催化燃燒法
很多工業廢氣中含有較多有害病毒主要是因為生產期間廢氣難以完全燃燒導致的，所以，催化燃燒法主要是利用特定催化劑讓廢氣燃燒的一種方法進行工業廢氣治理，從而將廢氣變為無害氣體。這種方法難以對污染物進行回收利用，也難以收獲較大經濟成效。
1.4 生物法
生物法多用在包含有機污染物的工業廢氣當中進行工業廢氣治理，同時要確保其具有一定可生化性。這一方法常用在氣體脫臭處理，和普通方法相比，這一方法所用設備更加簡單，運行與建設投資相對較低，不會產生二次污染。但由于生物法處理廢氣只能用在低濃度廢氣中，與此同時，要求污染物一定要可降解，所以，生物處理法也難以進行大面積推廣使用。
1.5 光分解法
光分解法主要將TiO2作為介質，利用光照條件將催化劑變為電子，進而將空氣分解為OH-離子，同時讓介質具備一定還原效果進行工業廢氣治理。用這一方法可以對不同有毒有害污染物進行處理，促使其分解，進而達到最終的廢氣凈化效果。廢氣光分解法方法為：1）使用特定波長光照照射污染氣體，讓這種污染物在光照作用下分解；2）利用催化劑，在特定光照條件下分解凈化污染物。這一方法在國外已經獲得一定成效，在國內有待深入研究。
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