項目類型：中芯國際集成電路制造（北京）有限公司污染源在線監測系統
應用場景：采用了OPSIS SYSTEM 400拖帶監測的方案，實現套系統拖帶監測多條煙囪廢氣的功能
監測項目：HF、HCl、CL2、 NH3
系統結構圖：
采用一套OPSIS SYSTEM 400在線監測系統，使用AR600紫外差分吸收光譜分析儀一臺，搭配MX012多路器實現單臺分析儀連續循環測量多條煙囪的功能，該系統對#1~#3煙囪的NH3堿性氣體進行一拖三的在線監測。由于R型光纖的長度有一定的限制，距離站房較遠的#3煙囪使用快速循環回路（FastLoop）進行監測。
